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Linear Motor的特性
‥电机和磁铁非接触驱动，所以噪音减少到最小化，磨损耗低
及超精密的Stage；
‥实现最高速度和加速度分别为：3m/s，3G；
‥反复位置的精密度±0.005mm (option ±0.001mm) 因而实现
了高精度；
最大负载可以达到200kgf，Liear Robot中可配备数个Carrier；
‥多种多样的组合设计使适用时体现了灵活性；
‥适用了Robot 专用控制器在适用时实现了优化。
应用领域：
‥可以适用于移栽用， Palletizing, Sealing，半导体检查设备